时间：2025-11-07 14:00
举办地点：产教融合大楼211会议室
内容：
纳米精度干涉计量关键技术及半导体产业应用
仪器仪表作为科技发展与工业生产的核心支撑，其高精尖技术水平直接关系我国产业升级与科技自主。当前我国半导体产业面临高精度干涉计量设备依赖进口、国外技术封锁与限制的困境，而纳米精度面型检测是半导体晶圆制造、封装测试等环节的核心需求。本次讲座聚焦纳米精度材料加工面型干涉计量关键技术，系统解析迈克尔逊干涉仪等核心装置的工作原理、剪切距离标定、信噪比优化等核心技术要点，深入探讨多表面分离、抗振、跨区解包裹等针对半导体检测痛点的创新解决方案，同时结合政策导向与产业现状，阐述技术在半导测量等场景的实际应用。
主办单位：
机械学院
主讲人：
汤信，东华大学控制科学与工程专业工学博士学位。2024年6月加入上海工程技术大学从事教学科研工作。主持上海市自然科学基金青年项目1项、企业委托项目等课题多项，参与多项国家自然科学基金、省部级项目；以一作/通讯作者发表SCI论文10余篇，获上海市科技进步二等奖1项，授权发明专利2项。
